研究光刻机应该学光电专业,或者(应用)物理(传统光学方向)专业都可以。
光刻机的研发本来就是集光学,电子,机械,软件,算法,物理,微电子等多学科为一体的,大部分理工科都可以在这个学科中找到对应的职位。
先进光刻机荷兰ASML一家独大,在中国的研发也比较少(上海和深圳有,但偏重软件方向),大部分都是装机修机现场服务技术支持。
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