光刻机通常由以下几个部分构成:
1.光源:用于发射光束,一般采用LED或F激光器作为光源。
2.光掩膜:是一张透明的玻璃或塑料膜,上面印有芯片设计中的图形。光源照射在光掩膜上,通过光刻过程将图形转移到芯片表面。
3.曝光系统:包括一系列的曝光器和一个曝光过程,将光掩膜上的图形转移到芯片表面。
4.控制系统:用于控制光源、光掩膜和曝光系统的工作,以精确控制曝光过程。
5.机械系统:包括一系列机械组件,用于驱动光刻机的工作。
6.冷却系统:用于控制光刻机的温度,以保持光刻机的稳定性和精度。
7.电源系统:用于为光刻机提供稳定的电源供应。
光刻机是一个复杂的设备,由多个组件精密组合而成,每个组件都发挥着至关重要的作用。
