生产芯片需要什么气体

氟化氢

氟化氢在芯片制造过程中，具有十分关键的地位，主要用作半导体基板的切割。据了解，半导体产品制造600余道工序中，有十几次要用到氟化氢。



高纯度氟化氢是一种半导体用刻蚀气体，在晶圆表面清洗、芯片生产过程中的刻蚀与杂物清除工序等方面，具有重要的作用。由此不难看出，氟化氢的重要性。