全站仪测量目标点的三维坐标是利用全站仪最基本的功能坐标测量进行的。操作步骤：
1、建立测站。把全站仪安置在一个已知控制点上。对中整平，输入测站点坐标高程，仪器高，目标高，有的还需要输入测站点测量时候温度气压等。
2、后视点定向。全站仪照准后视控制点上安置的棱镜进行定向。
3、测量坐标。全站仪照准待测目标点上棱镜进行测量，自动显示目标点的三维坐标。
全站仪测量目标点的三维坐标即X、Y坐标和高程。
首先在已知点上架设全站仪并量取仪器高，用另一个点定向。用极坐标法便可获得目标点的坐标，量取目标点的仪器高，通过计算可获得高程。
