故障模式与影响分析法的基本步骤包括：
明确分析的对象及范围，根据功能、特性及运行条件将系统划分为若干子系统，并找出各子系统功能、结构与动作上的相互关系。需要收集相关资料，如设计任务书、设计说明、有关标准、规范、工艺流程、设备图纸以及同类系统和设备的事故案例等，并了解故障的机理。
确定分析的基本要求，分清系统主要功能和次要功能在不同阶段的任务，逐个分析易发生故障的零部件，并确定可靠的检测方法和处理措施。
详细说明要分析的系统，包括系统的功能说明和系统功能框图，
故障模式一般分为外部断电性故障和内部机械零部件损坏故障，首先对故障的问题点进行排除的分析方法找到问题点。对问题点进行分析解决。
