其来源有三个方面：测量仪器、测量条件、测量者、方法。
1 仪器误差 仪器误差是由于仪器（测量工具）的设计、制造和装配校正等方面的欠缺所引起的测量误差（这正是本文关注的重点）。如：度盘的装配偏心，以及仪器调整校正后的残留误差。
2 条件误差（环境误差）条件误差是由于测量过程中测量条件变动所引起的测量误差。如野外作业时经纬仪、测距仪受到大气扰动及阳光照射角度改变等因素的影响。
3 人为误差人为误差是由测量者造成的。如测量者的估读误差、瞄准误差，以及测量者的感官生理变化和精神状态所引起的测量误差。前两种误差亦称为客观误差，后一种误差则称为主观误差。为减小主观误差，目前许多测量仪器的读书方式采用数字显示或电子计算机处理、判读等所谓客观读数方法，以及采用光电瞄准等客观瞄准方式，以消除主管误差。
4 方法 由于测量方法的不完善带来的误差。
