三坐标精确度，一般量度1000mm以内的设备精度2um-3um。
三坐标测量仪作为高精度的测量设备，其最大的优点当然是精度高，最高精度可以达到1微米，甚至更高。为了保证三坐标如此的高精度，高品质品牌的三坐标测量机的光栅尺的精度更是达到了纳米级别，思瑞测量的三坐标测量机使用的进口高品质光栅尺的精度就达到了0.078微米。
三坐标测量机的精确度为1立方米测量面积，精度0.3微米。
在选择三坐标测量仪的精度时，测量需求方面考虑，要求测量机的精度不能大于被测产品公差要求的三分之一，这是最低限的要求，投入成本方面的考虑，企业生产，都是以盈利为目的，因此资金投入的时候要考虑性价比问题。行业中较通用的中小型三坐标测量机精度一般都标示为2微米。
