高温催化分解法。
臭氧本身是一种不稳定性物质,工业中的高浓度臭氧,可以采用臭氧尾气破话装置去除,其设备原理将气体通过电加热的方式预热,然后在经过臭氧催化段,快速分解臭氧为氧气,此方法使用于高浓度低流量环境。