指标参数
➢激光：
1. 532 nmTEM00 激光器，激光功率大于30mw, 拉曼低波数好于10cm-1;
2. 激光功率连续可调，步长小于0.1mw;
➢光谱仪与检测器系统
1. 拉曼频移范围：10 cm-1 ~ 6000cm-1;
2. 光谱仪系统：焦长不小于300nm;
3. 配置1800, 600和150刻线光栅全自动切换；
4. 正常测试条件光谱分辨率：优于1.6 cm-1；
5. 光谱重复性：优于0.02 cm-1；
6. 共聚焦高灵敏度：能清晰地观察到硅的四阶拉曼峰，其中硅的三阶拉曼峰（1440 cm-1）信噪比好于25:1。
7. 光谱检测器：一英尺大尺寸CCD，1650*200像素，制冷温度低于-60°C
8. XYZ全自动机械平台：XY最小步长100nm, Z轴最小步长10nm.
9. 配置10倍明场物镜，20倍明暗场物镜，50倍明暗场物镜，50倍长焦物镜，100倍物镜。
