优点:
(1) 测量围大
(2) 温度稳定性好
(3) 结构简单、适应性强
(4) 动态响应好
(5) 可以实现非接触测量、具有平均效应
电容式传感器除上述优点之外,还因带电极板间的静电引力极小(约几个毫克),因此所需输入能量极小,所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨率非常高,能感受0.001μm甚至更小的位移。
缺点:
(1) 输出阻抗高、负载能力差
(2) 寄生电容影响大。
优点:
(1) 测量围大
(2) 温度稳定性好
(3) 结构简单、适应性强
(4) 动态响应好
(5) 可以实现非接触测量、具有平均效应
电容式传感器除上述优点之外,还因带电极板间的静电引力极小(约几个毫克),因此所需输入能量极小,所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨率非常高,能感受0.001μm甚至更小的位移。
缺点:
(1) 输出阻抗高、负载能力差
(2) 寄生电容影响大。