清代初期沿置,乾隆十八年(1753)废。
清末改制,部分机关有设,地位高低不一,多在参事之下,职务相当于科长。
中华民国北洋政府各部亦设佥事,荐任,分掌各厅、司事务,常兼任科长,地位则略高于科长。
如鲁迅曾任教育部佥事。