扫描电镜的工作原理主要是利用二次电子成像,它工作原理是这样的:从电子枪灯丝发出的直径约20~35μm的电子束,受到阳极1~40kV高压的加速射向镜筒,并受到第一、二聚光镜和物镜的汇聚作用,缩小成直径约几十埃的狭窄电子束射到样品上