以电容器为敏感元件,将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。
电容传感器的形式很多,常使用的一是变极距式电容传感器、二是变面式电容传感器进行位移测量,另外一个是改变介质介电常数的电容传感器。