俄歇光谱分析仪的优点：
1.采样方式灵活，对于稀有和贵重金属的检测和分析可以节约取样带来的损耗。
2.测试速率高，可设定多通道瞬间多点采集，并通过计算器实时输出。
3.对于一些机械零件可以做到无损检测，而不破坏样品，便于进行无损检测。
4.分析速度较快，比较适用做炉前分析或现场分析，从而达到快速检测。
5.分析结果的准确性是建立在化学分析标样的基础上。缺点：
1.对于非金属和界于金属和非金属之间的元素很难做到准确检测。
2.不是原始方法，不能作为仲裁分析方法，检测结果不能做为国家认证依据。
3.受各企业产品相对垄断的因素，购买和维护成本都比较高，性价比较低。
4.需要大量代表性样品进行化学分析建模，对于小批量样品检测显然不切实际。
5.模型需要不断更新，在仪器发生变化或者标准样品发生变化时，模型也要变化。
6.建模成本很高，三元素分析仪测试成本也就比较大了，当然对于大量样品检测时，测试成本会下降。
7.易受光学系统参数等外部或内部因素影响，经常出现曲线非线性问题，对检测结果的准确度影响较大。
