原理主要包括以下几个方面：
1. 蒸发：将所需的材料加热至其沸点以上，使其转变为蒸汽状态，然后沉积在工件表面上。蒸发可以通过电子束、电弧、电阻加热等方式实现。
2. 溅射：在真空环境中，通过在靶材表面轰击高能粒子（如离子、电子等），使靶材表面的原子或分子离开靶材并沉积在工件表面上。溅射过程中靶材的原子或分子通过惰性气体（如氩气）传输至工件表面。
3. 反应蒸发：将需要沉积的材料与反应气体混合，通过热反应或化学反应的方式使其转变为蒸汽状态，并沉积在工件表面上。
4. 离子镀：在真空环境中，通过施加高频或直流电场，将离子加速并轰击工件表面，使其表面发生化学反应或物理变化，从而形成薄膜。
真空镀工艺的优点包括薄膜致密均匀、附着力强、硬度高、耐腐蚀性好等，因此被广泛应用于各个领域，如电子器件、光学薄膜、防腐蚀涂层等。
