氧化法原理（直接氧化法的优缺点）

基本概念： 1 干氧氧化 - 氧化气氛为干燥、纯净的氧气的制备二氧化硅的热生长氧化过程。

2 水汽氧化 - 氧化气氛为纯净水蒸汽的制备二氧化硅的热生长氧化过程。

3 湿氧氧化 - 氧化气氛为既有纯净水蒸汽又有纯净氧气的制备二氧化硅的热生长氧化过程。

4 热分解氧化 - 在分解温度下，利用化合物分解和重新组合生成二氧化硅，然后使二氧化硅淀积在衬底表面上形成一定厚度的二氧化硅层的方法。