俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy,AES),作为一种最广泛使用的表面分析方法而显露头角,通过检测俄歇电子信号进行分析样品表面,是一种极表面(0-3nm)分析设备。
这种方法的优点是:在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高,很高的空间分辨率,最小可达到6nm,能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布;通过成分变化测量超薄膜厚。
它可以用于许多领域,如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面
俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy,AES),作为一种最广泛使用的表面分析方法而显露头角,通过检测俄歇电子信号进行分析样品表面,是一种极表面(0-3nm)分析设备。
这种方法的优点是:在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高,很高的空间分辨率,最小可达到6nm,能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布;通过成分变化测量超薄膜厚。
它可以用于许多领域,如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面