国家纯水标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89，目前，中国高纯水标准分为分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
在工业纯水生产中，水质标准中规定的规格应以电子（微电子）元件（或材料）的生产工艺为依据。例如，一般认为引起电路性能损坏的微粒物质的尺寸是其线宽的1/5-1/10。然而，由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多。
目前，还没有一套完整的水质标准适用于某一种工艺试验回路的生产。随着电子水质标准的不断修订和高纯水分析领域的许多突破和发展，新仪器和分析方法的不断应用为净水工艺的发展创造了条件。
