掩膜板重要性

掩膜版简称掩膜，是光刻制程中重要组成部分。掩膜上承载着设计图形，光源投过掩膜并将图形投影在光刻胶智商。因此掩膜性能直接决定了光刻工艺的质量。目前制程制程用较为常用的工艺为投影式光刻，掩膜不直接与晶圆表面接触。掩膜板不透光区域采用金属Cr挡光，形成明暗相间的图案。