是利用化学反应将烟气中的二氧化硫和氮氧化物转化为无害的物质。其中脱硫主要采用湿法脱硫技术，将烟气通过喷雾器喷洒一定量的脱硫剂，如氢氧化钙、氢氧化钠等，使其与烟气中的二氧化硫发生化学反应，生成硫酸钙等物质，从而达到脱硫的目的。
脱硝技术主要采用选择性催化还原（SCR）技术，将烟气通过催化剂层，加入一定量的氨水或尿素等还原剂，使其与烟气中的氮氧化物发生化学反应，生成氮气和水等无害物质，从而达到脱硝的目的。
根据环保部颁布实施的《火电厂大气污染物排放标准》（GB13271-2014）及“十三五”主要污染物增加氮氧化物（以下简称为NOx）总量控制指标的要求，京津冀地区燃煤锅炉烟气氮氧化物排放执行超低排放标准，即氮氧化物排放浓度低于50 mg/Nm3（以NO2计）。
我国氮氧化物的排放量中70%来自煤炭的直接燃烧，电力工业又是我国的燃煤大户，因此NOx排放的主要来源是火力发电厂。 火力发电厂烟气中含有大量氮氧化物，如不处理，这些废气排入大气会产生污染形成酸雨，为了进一步降低氮氧化物的排放，必须对燃烧后的烟气进行脱硫脱硝处理。
低温烟气脱硫脱硝技术以低温氧化技术为简单有效，由于烟气中的氮氧化物主要组成是NO（占95%），NO难溶于水，而高价态的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，很容易通过碱液喷淋等手段将其从烟气中脱出。将烟气中的NO转化为高价态，需引入较强的氧化剂，在众多氧化剂中，臭氧是环保清洁的强氧化剂，在高效转化NO至高价态的过程中不遗留任何二次污染物，另外不同于?OH、?HO2 等，工作环境恶劣，自由基存活时间非常短，能耗较高，O3的生存周期相对较长，将少量氧气或空气电离后产生O3，然后送入烟气中，可显著降低能耗。
