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die sawing介绍(disco sawing介绍)

die sawing介绍(disco sawing介绍)

更新时间:2024-09-24 18:44:27

die sawing介绍

晶圆切割(Dicing),也叫划片(Die Sawing),将做好芯片的整片晶圆通过切割工艺进行分割,形成若干个独立的单颗芯片(Die),为后续工序做准备。

它是半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,在晶圆制造中属于后道工序。目前,常用的切割工艺有刀片切割(blade saw)和激光切割。

激光切割利用激光进行切割,在切割过程中晶圆不易破碎,切割后的芯片光滑平整,但是所需的激光切割机价格昂贵,成本较高。

刀片切割利用划片系统进行切割,在晶圆切割市场仍然占据较大份额。

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