光刻需要的仪器（光刻工艺设备原理及介绍）

光刻需要仪器，叫光刻机！

光源系统、物镜系统、EDA工程、双工件台系统是构成光刻机的四大核心部件。先前我们在双工件台系统、光源系统中已经有所突破，决定逻辑芯片前期技术开发的EDA工程软件系统也被芯和半导体攻破。决定光刻机制程精度，光刻机最核心的物镜系统