1.上游工艺气体流量波动;
2.工作液流量波动;
3.排气管路有堵塞;
4.长期运行造成的断面间隙变大;
5.驱动机(通常为电机)与从动机(真空泵)的连接不达标,即不同轴;
6.轴承寿命到期,磨损严重。