一、开机：打开空气开关，打开主机钥匙开关，启动电脑软件。
二、放样：按压AIR键解除真空，轻轻拉出样品仓放入样品(取出样品或查看样品)，关上样品仓后按压EVAC键抽真空。
三、选择真空模式和观测探头：真空模式可选择高真空和低真空模式；观测探头可选择二次电子探头或背反射探头。不能选择在低真空模式下的背反射探头。
四、观测及图像调节：首先设定样品台高度、选择电压；选择合适的放大倍数观察样品。首先进行合轴调节：包括机械合轴和电器合轴。然后聚焦，消除像散，选一个区域，调整至最佳状态。最后调整亮度和对比度。
五、图像搜集：选择拍照模式，捕获照片。结束后关掉高压。
六、记录存储：把最终捕获的图像记录名称、日期等存入已建好的文件夹中。
七、关机：首先把样品台降低，按压AIR键解除真空，轻轻拉出样品仓取出样品，关上样品仓后按压EVAC键抽真空。最后退出软件，关掉电脑，关掉钥匙开关和空气开关。
