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降低光刻机K1的几种方法(光刻机为什么需要波长越短越好)

降低光刻机K1的几种方法(光刻机为什么需要波长越短越好)

更新时间:2024-06-11 15:20:34

降低光刻机K1的几种方法

降低光刻机K1可以采用以下几种方法:

1.采用更短的光波长,例如使用紫外光曝光代替可见光曝光,可以提高分辨率,降低K1;

2.采用更高的NA物镜,可以提高光斑的收缩度,减小焦点大小,从而降低K1;

3.采用更高的光刻胶敏感度,可以使光斑更容易形成良好的图形,这样可以减小焦点大小,从而降低K1;

4.改进光刻机的调节和控制系统,以减小光源波动、光学系统对准误差、振动等造成的影响,从而降低K1。

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