三坐标测量仪作为高精度的测量设备，其最大的优点当然是精度高，最高精度可以达到1微米，甚至更高。为了保证三坐标如此的高精度，高品质品牌的三坐标测量机的光栅尺的精度更是达到了纳米级别，思瑞测量的三坐标测量机使用的进口高品质光栅尺的精度就达到了0.078微米。
三坐标测量仪的另一个优点就是测量的特征多，几乎所有类型的尺寸测量，三坐标测量仪都可以进行测量，通过构造特征，更是可以对平面度，圆度，同心度 等等进行检测。思瑞全自动三坐标测量仪使用的测量行业标杆软件pc-dmis软件，还可以导入CAD数模进行脱机检测，使三坐标测量机不止有测量特征多， 还具有测量速度快，效率高等优点。
测量精度与三坐标机的型号和最大测量规格及生产厂家不同而各不相同，一般较精密三坐标测量机的分辨能力为0.001mm，测量精度在0.002mm~0.005mm。
