氧化硅用途

（1）在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质，器件的组成部分。

 （2）扩散时的掩蔽层，离子注入的（有时与光刻胶Si3N4层一起使用）阻挡层 。

（3）作为及策划年高点了的隔离截止材料 。

（4）作为电容器的绝缘介质材料 。

（5）作为多层金属互连层之间的介质材料 。

（6）作为对器件和电路进行钝化的钝化层材料。