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光刻机的作用是什么(光刻机主要是做什么用的)

光刻机的作用是什么(光刻机主要是做什么用的)

更新时间:2024-04-19 12:35:16

光刻机的作用是什么

光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路,当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。--光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴芯片;以及利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样

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