这里主要涉及到四氯化硅的提纯方法,楼主问的是是下面的第三步,工业制取高纯单晶硅的步骤如下:
第一步首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅;
第二步然后将粗硅转化为有挥发性并易提纯的四氯化硅或三氯氢硅;
第三步再用精馏法提纯四氯化硅或三氯氢硅,在电炉中用氢气还原,得到纯度较高的硅。
这里主要涉及到四氯化硅的提纯方法,楼主问的是是下面的第三步,工业制取高纯单晶硅的步骤如下:
第一步首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅;
第二步然后将粗硅转化为有挥发性并易提纯的四氯化硅或三氯氢硅;
第三步再用精馏法提纯四氯化硅或三氯氢硅,在电炉中用氢气还原,得到纯度较高的硅。