分离四氯化硅和其他杂质的方法为（四氯化硅和三氯氢硅分离方法）

四氯化硅的提纯方式主要有：精馏法、固体吸附法。

精馏法原理：因为四氯化硅常温下是液体，沸点不高，容易挥发，可以用分馏的方法把它分离出去。

吸附法：基于化合物中各组分化学键极性来吸附分离。SiCl4是无电偶极矩的对称分子。

精馏法对BCl3、PCl3以及产生的OH含氢化合物SiHCl3分离比较难，但是吸附法又对这些极性杂志有较好的去除效果。