泄漏量sccm是什么单位

sccm是“标准立方厘米每分钟”的缩写，是指气体流量的计量单位。
泄漏量sccm的单位表示了气体的流量，即单位时间内通过指定管道或装置的气体。
通常用于描述气体压力控制和流量控制系统中的气体流量。
这个单位的使用能让我们更精准地掌握气体的流动速度和流量大小，并在实验或实际应用中提供更准确的量化数据。
在工业和科学领域中，sccm通常被用于描述气体的流量，如半导体加工、光学制造、化工等。