当前位置:首页>维修大全>综合>

mems传感器工作原理(mems传感器和普通传感器的区别)

mems传感器工作原理(mems传感器和普通传感器的区别)

更新时间:2024-04-07 12:36:01

mems传感器工作原理

MEMS代表微机电系统。这些是一组设备,这些设备的特性可以通过其微小的尺寸和设计模式来实现。这些传感器的设计可以使用1-100微米的组件来完成。

在集成微电子设备的控制下,这些设备可以从小型结构到非常困难的机电系统,其移动部件很多,而移动部件可能有所不同。

通常,这些传感器在一个封装中包括机械微致动器,微结构,微电子学和微传感器。

更多栏目