光刻机有毒吗（光刻机对人有什么危害）

光刻机的光刻胶有毒。

光刻胶内最重要成分是对光敏感的有机物（polymer），另外就是能溶解光刻胶的溶剂。带苯环的polymer多是强致癌物，如果被人体吸收，肯定有害。但是通常闻到的味道并不是有机物本身，而是有机溶剂 （易挥发）。

闻多了对人体不好，但是危害相对polymer，还是要小得多。