扫描电镜工作原理（扫描电镜的工作原理）

扫描电镜利用电子束扫描样品表面，探测样品表面的反射电子、二次电子、透射电子等信号，将其转化为电信号，经过电子光学系统成像，得到高分辨率的样品表面形貌和微观结构信息。