优点:(1)分析简便、快速。
(2)无需烦琐的样品前处理过程,避免了样品被污染或损失的可能。
(3)适用于各种形态的固体(导体或非导体)、液体或气体。
(4)对样品尺寸要求不严格,且样品量消耗极低(约0.1μg~0.1mg,通常被称为无损检测)。
(5)可测定难溶解的高硬度材料。
(6)同时进行多元素测定。
(7)原位微区分析空间分辨率可达1~100/m。
(8)可通过光导纤维进行远程分析。
(9)适于恶劣条件(如高温)下进行测定。
(10)适于现场分析。
缺点:
(1)仪器成本较高,也较为复杂。
(2)难以获得基体完全匹配的标准参考物质。
(3)基体效应大,激光散射背景干扰大。
(4)检出限比传统光谱技术高1~100倍。
(5)准确性、精确性受样品的均匀性及激光器激发特性影响较大。
(6)高能量的激光脉冲对视力的损害较大。