高真空电子束焊：被焊工件放在真空度为5×1022Pa以上的工作室中进行焊接。这种方法是目前应用最为广泛的。其缺点是工件大小受工作室尺寸的限制;
低真空电子束焊：工作室真空度保持在1～10Pa。它与高真空电子束焊相比，具有真空系统简单、启动快、效率高。减弱了焊接时的金属蒸发等;
非真空电子束焊：它是将在真空条件下形成的电子束流，引入到大气环境中对工件进行焊接，为了保护焊缝金属不受污染和减少电子束的散射。束流在进入大气中时先经过充满氦的气室，然后与氦气一起进入到大气中。非真空电子束焊接成为一种实用的焊接方法，其最大优点是摆脱了工作室尺寸对工件的限制。因而扩大了电子束焊的应用范围。
