(1)补偿器误差。
仪器经过长期使用后，补偿装置内应力会发生变化，补偿性能就会减弱，要求定期检测，超限时应及时调校。还应注意补偿器的稳定时间，置平后过几秒再测量。
(2)视准轴误差。
视准轴误差即为水准管轴和视准轴的夹角在竖直面内的投影，也称i角，它对高差的影响与前后视距差成正比，测量过程中应保证前后视距差在限差范围内。
(3)亮度对测量的影响。
电子水准仪的CCD图像传感器只能在有限的亮度范围内将图像转换为仪器能够识别的有效电信号，所以在使用过程中应随时调节尺身方位，以调节合适亮度。
(4)调焦对测量的影响。
电子水准仪依据用于测量的所有间隔码元计算多次测量的平均值，因此调焦对测量精度的影响较小。但如果读数时焦距未调清晰，则易造成测量失败。
(5)标尺竖立垂直度对测量的影响。
仪器在自动测量过程中标尺倾斜会给读数带来误差，精密铟瓦条码标尺上都安置了圆水准器，观测时应用尺撑使标尺直立。
