28nm和14nm光刻胶是没有区分的,都属于一类波长的光刻胶。
光刻胶区分比较重要的是按曝光波长分类,按照曝光波长分类,可分为:紫外光刻胶(300~450nm)深紫外光刻胶(160~280nm)极紫外光刻胶(EUV,13.5nm)电子束光刻胶离子束光刻胶X射线光刻胶通常来说,波长越短,加工分辨率越佳。
由此可见28nm和14nm所使用的光刻胶同属于深紫外光光刻胶,既都是使用193nm深紫外光光源的中端光刻机,所以14nm和28nm使用的光刻胶没有区分。
28nm和14nm光刻胶是没有区分的,都属于一类波长的光刻胶。
光刻胶区分比较重要的是按曝光波长分类,按照曝光波长分类,可分为:紫外光刻胶(300~450nm)深紫外光刻胶(160~280nm)极紫外光刻胶(EUV,13.5nm)电子束光刻胶离子束光刻胶X射线光刻胶通常来说,波长越短,加工分辨率越佳。
由此可见28nm和14nm所使用的光刻胶同属于深紫外光光刻胶,既都是使用193nm深紫外光光源的中端光刻机,所以14nm和28nm使用的光刻胶没有区分。