光刻机用途

光刻机的用途是用于生产芯片、封装、 LED 制造领域，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机的种类可分为接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。