台积电的光刻机是荷兰阿斯麦尔的。
作为全球最大芯片代工厂,台积电和三星的光刻机均是来自于荷兰阿斯麦尔的,其中EUV极紫外光光源光刻机被用于制造14纳米以下高端制程的芯片,DUV深紫外光光源光刻机被用于制造22纳米以上中低端制程芯片。