微细加工技术中的加工方法种类繁多,可以按现代加工技术的一般分类方法将其分为四大类:
1)去除加工将材料的某一部分分离出去的加工方式,如光刻、化学刻蚀、电解抛光等;
2)增材加工同种或不同材料的附和加工或相互结合加工,如化学镀、电镀、溅射沉积、离子镀膜等;
3)变形加工使材料形状发生改变的加工方式,如微细离子流抛光(研磨、压光)、热流动表面加工(气体高温、高频电流、热射线、电子束、激光)等;
4)整体处理及表面改性等。
微细加工技术中的加工方法种类繁多,可以按现代加工技术的一般分类方法将其分为四大类:
1)去除加工将材料的某一部分分离出去的加工方式,如光刻、化学刻蚀、电解抛光等;
2)增材加工同种或不同材料的附和加工或相互结合加工,如化学镀、电镀、溅射沉积、离子镀膜等;
3)变形加工使材料形状发生改变的加工方式,如微细离子流抛光(研磨、压光)、热流动表面加工(气体高温、高频电流、热射线、电子束、激光)等;
4)整体处理及表面改性等。