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刻蚀工艺流程

刻蚀工艺流程

更新时间:2023-08-26 14:22:22

刻蚀工艺流程

1.1开启等离子刻蚀机电源开关、冷却水开关,开氧气(    02)和四氟化碳(CF4)

气瓶开关(两小格即可) 。

1.2打开射频电源预热 20 分钟。

1.3将扩散完、待加工的硅片整齐地叠在一起,在最上面、最下面的硅片上加同 规格的塑料薄片,用四氟片压好,盖上盖板,平衡拧紧螺丝, (控制好力度, 要压紧,但也不要太过用力,以免压碎硅片)放入离子刻蚀机反应室,对准 盖好上盖板。

1.4 打开机械泵,开主抽,开始抽真空,

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