什么是等离子体 高温等离子体与低温等离子体有何区别

低温等离子体主要的应用在

化学气相沉积

刻蚀，清洗

表面改性

冷光源

等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。