砷化镓不是金属材料,是一种无机化合物。
砷化镓材料也可以采用离子注入掺杂工艺直接制造集成电路,尽管由砷化镓取代硅、锗的设想尚未实现,但它在激光、发光和微波等方面已显示出优异的性能。
砷化镓外延技术还有分子束外延和金属有机化合物汽相沉积外延。