什么是步进式光刻机

1、步进式光刻机工作原理是单场曝光采用动态扫描方式，即掩模板相对晶圆同步完成扫描运动；

2、完成当前曝光后，晶圆由工作台承载步进至下一步扫描场位置，继续进行重复曝光；

3、重复步进并扫描曝光多次，直至整个晶圆所有场曝光完毕。