将镀件清洗干净,然后用适合的挂具将其固定在真空炉中,并在高真空环境中加热至200~500℃,再用电子枪对固体原料金属钛(Ti,其纯度高达99.9%以上)加热,使其熔化并蒸发、离化,同时在真空炉充入高纯氮气N2(其纯度高达99.996%以上)作为反应气体,于是就生成钛的氮化物,沉积在镀件表面上。
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将镀件清洗干净,然后用适合的挂具将其固定在真空炉中,并在高真空环境中加热至200~500℃,再用电子枪对固体原料金属钛(Ti,其纯度高达99.9%以上)加热,使其熔化并蒸发、离化,同时在真空炉充入高纯氮气N2(其纯度高达99.996%以上)作为反应气体,于是就生成钛的氮化物,沉积在镀件表面上。