用工业硅和氯化氢反应生成三氯氢硅；将三氯氢硅经提纯后与氢气反应生成多晶硅；收集主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的尾气：加压和冷却尾气，气液分离氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，分离氢气与氯化氢和二氯二氢硅；通过升温和/或加压将氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来；通过控制压力和/或温度分离氯化氢与二氯二氢硅；和通过温度和压力通过气液分离将三氯氢硅与四氯化硅分离。该发明的方法能够回收和利用尾气，充分利用了原料，减少了污染物，解决了污染问题，降低了成本，提高了产量和效率。
