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多晶硅是怎么提炼出来的

多晶硅是怎么提炼出来的

更新时间:2023-09-16 19:08:33

多晶硅是怎么提炼出来的

用工业硅和氯化氢反应生成三氯氢硅;将三氯氢硅经提纯后与氢气反应生成多晶硅;收集主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的尾气:加压和冷却尾气,气液分离氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅;使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂,分离氢气与氯化氢和二氯二氢硅;通过升温和/或加压将氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来;通过控制压力和/或温度分离氯化氢与二氯二氢硅;和通过温度和压力通过气液分离将三氯氢硅与四氯化硅分离。该发明的方法能够回收和利用尾气,充分利用了原料,减少了污染物,解决了污染问题,降低了成本,提高了产量和效率。

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