FESEM是（field emission scanning electron microscopy）的简写，意思是场发射扫描电子显微镜；SEM是(scanning electron microscopy) 的简写，意思是扫描电子显微镜。FESEM和SEM的简单区别就是发射电子的装置不一样，一个使用灯丝，一个使用的场发射。场发射能量高，电子束可以更细。
扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
