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PECVD中文简称及作用是什么
PECVD中文简称及作用是什么
更新时间:2023-05-11 20:45:46
PECVD:plasma enhanced chemical vapor deposition 等离子体增强化学气相沉积 一般是用来沉积非金属膜层的,比如氮化硅,非晶硅,氧化硅之类的。
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